NA 027
DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)
Norm
[AKTUELL]
DIN 32564-2
DIN 32564-2
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 2: Basistechnologien und Herstellung
Titel (englisch)
Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 2: Basic technologies and production