NA 027

DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)

Norm [AKTUELL]

DIN 32564-1
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik

Titel (englisch)

Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology

Einführungsbeitrag

Die Normenreihe DIN 32564 wurde vom Arbeitsausschuss "Fertigungsmittel für Mikrosysteme" im NAFuO erstellt.
Sie soll Begriffe in dem Gebiet Mikrosystemtechnik klären. Es ist beabsichtigt, die Normenreihe regelmäßig zu aktualisieren, um sie den Bedürfnissen von Kunden und Herstellern von Fertigungsmitteln für die Mikrosystemtechnik anzupassen. Zusätzlich hierzu ist vorgesehen, Begriffe aus anderen Normen, in denen die Mikrosystemtechnik behandelt wird, aufzunehmen.
Teil 1 soll dazu dienen, durch Festlegung einer einheitlichen Begriffsbildung die Verständigung über technische Inhalte in der Fertigung von Mikrosystemen zu erleichtern. In Teil 2 werden Begriffe für die Basistechnologien zur Herstellung von Mikrosystemen festgelegt, während in Teil 3 Begriffe der Handhabung, der Lagerung und des Transportes von Mikrosystemen zu finden sind.

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Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 027-03-03 AA - Fertigungsmittel für Mikrosysteme  

Ausgabe 2004-05
Originalsprache Deutsch
Preis ab 49,20 €
Inhaltsverzeichnis

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