DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)
DIN 32561
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Werkstückträger - Anschlussmaße und Toleranzen
Production equipment for microsystems - Tray - Dimensions and tolerances
Einführungsbeitrag
Die Norm wurde vom Arbeitsausschuss "Fertigungsmittel für Mikrosysteme" im NAFuO erstellt.
Sie gilt für Werkstückträger, die Werkstücke geordnet aufnehmen und zu deren Lagerung, Transport und Handhabung genormte Handhabungs- und Fertigungseinrichtungen der Halbleiterfertigungstechnik eingesetzt werden.
Festgelegt sind die einheitliche äußere Gestaltung, Anschlussmaße und Toleranzen, die Bezeichnung und das Feld für die Kennzeichnung sowie die Ausführung dieser Werkstückträger.
Änderungsvermerk
a) Definition 3.2 geändert; b) Angabe der Laufrichtung in Bild 1 ergänzt; c) Tabelle 1 überarbeitet, insbesondere Erweiterung der Werkstückträgergrößen zu kleineren Durchmessern (Typen 1 bis 3 neu hinzugefügt) und die Maße A, B und D teilweise modifiziert.
