DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)
DIN 58557-1
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Verfahren zur Messung der Gestalt von Mikrolinsenarrays - Teil 1: Einseitige Messung eines Mikrolinsenarrays
Production equipment for microsystems - Method for measuring the shape of microlens arrays - Part 1: Single sided measurement of a microlens array
Einführungsbeitrag
Diese Norm legt ein geometrisches Messverfahren zur Bestimmung von Form-, Lage-, Geometrie- und Texturparametern von sphärischen und rotationssymmetrischen asphärischen Mikrolinsen sowie Lage- und Geometrieparametern von Mikrolinsenarrays und Arrays von Mikrolinsenarrays mittels taktilen und optischen Punktmessungen und optischen Flächenmessungen fest. Dieses Dokument kann einerseits zur Prüfung von Werkstücken angewendet werden, andererseits kann die Bestimmung einiger Parameter verwendet werden, um den Fertigungsprozess zu charakterisieren. Die Mikrolinsen sind einseitig oder beidseitig auf einem Substrat oder in einem Substrat angeordnet, wobei die Mikrolinsen und das Substrat aus dem gleichen Werkstoff und im gleichen Prozess hergestellt sein können. Dieses Dokument legt nur Verfahren für die einseitige Messung von Mikrolinsen, Mikrolinsenarrays und Arrays von Mikrolinsenarrays fest. Die beidseitige referenzierte Messung wird in Teil 2 behandelt, der derzeit in Erarbeitung ist. Diese erste Fassung wurde vom Arbeitsausschuss NA 027-03-03 AA "Fertigungsmittel für Mikrosysteme" im DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO) erarbeitet.
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN 58557-1:2022-09 wurden folgende Korrekturen vorgenommen: a) in 6.2.2.3 wurde im letzten Satz "Sphärenachse" durch "Asphärenachse" ersetzt; b) Bild 12 sowie dessen Legende und Bildunterschrift wurden korrigiert; c) redaktionelle Änderungen.
