DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)
DIN ISO 14999-4
Optik und Photonik - Interferometrische Messung von optischen Elementen und Systemen - Teil 4: Interpretation und Beurteilung der Toleranzen nach ISO 10110 (ISO 14999-4:2015)
Optics and photonics - Interferometric measurement of optical elements and optical systems - Part 4: Interpretation and evaluation of tolerances specified in ISO 10110 (ISO 14999-4:2015)
Einführungsbeitrag
Dieser Teil von ISO 14999 gilt für die Interpretation von Daten aus der interferometrischen Messung optischer Bauteile und liefert den theoretischen Hintergrund zur Bestimmung der Angaben für ISO 10110-5 und/oder ISO 10110-14. Es ist allgemein üblich, die Oberflächenformabweichung interferometrisch als die Wellenfrontdeformation zu messen, die bei einfacher Reflexion an der optischen Oberfläche bei senkrechtem Einfall entsteht. Daher ist es möglich, die interferometrische Auswertung einheitlich darzustellen, so dass sie für beide Anwendungen genutzt werden kann. Ein Interferenzstreifen (wie in ISO 10110-5 definiert) entspricht einer Oberflächenformabweichung, die eine Deformation der reflektierten Wellenfront von einer Wellenlänge erzeugt.
Änderungsvermerk
Änderungen Gegenüber DIN ISO 14999-4:2008-12 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Toleranzen von zylindrischen und torischen Wellenfronten ergänzt; b) Darstellung der gemessenen Wellenfrontdeformation mittels Zernike-Koeffizienten ergänzt; c) Tolerierung der Anstiegsabweichung ergänzt; d) Name der Größe A wurde geändert in Power-Abweichung, weitere Informationen siehe 3.3.1, Anmerkung 2 zum Begriff.
