DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)
DIN EN ISO 14644-1
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ISO 14644-1:2015); Deutsche Fassung EN ISO 14644-1:2015
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-1:2015); German version EN ISO 14644-1:2015
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument (EN ISO 14644-1) wurde im Technischen Komitee ISO/TC 209 "Cleanrooms and associated controlled environments" in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee CEN/TC 243 "Reinraumtechnologie", dessen Sekretariat vom BSI (Vereinigtes Königreich) gehalten wird, erarbeitet. Zuständig für die Deutsche Fassung ist der Arbeitsausschuss NA 041-02-21 AA "Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)" im Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik (NHRS) bei DIN Deutsches Institut für Normung e. V. Die Reihe DIN EN ISO 14644 "Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche" besteht aus den folgenden Teilen: Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration; Teil 2: Festlegungen für die Überwachung und periodische Prüfung zum Nachweis der fortlaufenden Übereinstimmung mit ISO 14644-1; Teil 3: Prüfverfahren; Teil 4: Planung, Ausführung und Erst-Inbetriebnahme; Teil 5: Betrieb; Teil 6: Terminologie; Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments); Teil 8: Klassifikation luftgetragener molekularer Kontamination; Teil 9: Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit; Teil 10: Klassifizierung der chemischen Oberflächenreinheit Diese Ausgabe ist das Ergebnis einer systematischen Nachbearbeitung und enthält Änderungen, als Resonanz auf Rückmeldungen von Anwendern und Fachleuten, die im Rahmen einer internationalen Umfrage ausgewertet wurden. Der Titel wurde in "Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration" geändert, um Konsistenz zu anderen Teilen der Norm zu erreichen. Die neun ISO-Reinheitsklassen wurden unverändert beibehalten, Tabelle 1 legt nun jedoch die Partikelkonzentration bei verschiedenen Partikelgrößen innerhalb der neun ganzzahligen Klassen fest. Mit der Verwendung von Tabelle 1 ist sichergestellt, dass die für verschiedene Klassen geeigneten Partikelgrößenbereiche besser festgelegt werden. Zur Festlegung von Zwischendezimalklassen dient eine beibehaltene Formel. Die Norm behält das Prinzip der Deskriptoren für ultrafeine und Makropartikel für Partikelgrößen bei, die außerhalb des für Messungen mit Partikelzählgeräten geeigneten Bereichs liegen. Die wichtigste Änderung ist die Einführung eines konsistenteren statistischen Ansatzes für die Auswahl der Anzahl von Probenahmeorten und die Auswertung der gesammelten Daten. Die Anzahl der Probenahmeorte wurde verglichen mit der Normenausgabe von 1999 geändert. Dieser Ansatz ermöglicht eine unabhängig voneinander erfolgende Bearbeitung der Probenahmeorte mit einem 95 %-Vertrauensniveau, sodass mindestens 90 % der Reinräume oder Reinraumbereiche der Höchstgrenze der Partikelkonzentration der zu erzielenden Luftreinheitsklasse entsprechen werden. Zur Festlegung der erforderlichen Anzahl von Probenahmeorten wurde eine Bezugstabelle erstellt. Da ein Stichprobenmaß erforderlich ist, wird der Reinraum oder der Reinraumbereich anschließend in gleich große Bereiche unterteilt und der Probenahmeort stichprobenweise in jeden Bereich gesetzt. Um die Logik dieser Norm zu verbessern, wurden abschließend die Anhänge neu geordnet.
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN EN ISO 14644-1:1999-07 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Titel wurde in "Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration" geändert; b) Es wurden normative Verweise aufgenommen; c) neuer Anhang E "Festlegung der dezimalen Zwischenklassen der Reinheit und der Schwellenwerte der Partikelgröße" hinzugefügt; d) neuer Anhang F "Messgeräte" hinzugefügt; e) Aufnahme von Tabelle 1 - Klassifizierungstabelle für Partikelreinheitsklassen, um die maximale Partikelkonzentration bei verschiedenen Partikelgrößen innerhalb der neuen Reinheitsklassen festzulegen; f) Bestimmung der maximalen Partikelkonzentration für Zwischenklassen anhand einer Formel; g) Einführung eines konsistenteren statistischen Ansatzes für die Auswahl der Anzahl von Probenahme-orten und die Auswertung der gesammelten Daten.
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 041-02-21 AA - Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 243 - Reinraumtechnologie
