NA 027
DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)
DIN 32567-4 [AKTUELL] zitiert folgende Dokumente:
Dokumentnummer | Ausgabe | Titel |
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DIN 32567-2 | 2014-10 | Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 2: Prüfkörper für taktile Verfahren Mehr |
DIN 32564-1 | 2004-05 | Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik Mehr |
DIN 32567-1 | 2015-06 | Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 1: Qualitative Abschätzung der material- und verfahrensspezifischen Einflüsse Mehr |