NA 027
DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)
DIN 32567-3 [AKTUELL] zitiert folgende Dokumente:
Dokumentnummer | Ausgabe | Titel |
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DIN EN ISO 5436-1 | 2000-11 | Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Tastschnittverfahren; Normale - Teil 1: Maßverkörperungen (ISO 5436-1:2000); Deutsche Fassung EN ISO 5436-1:2000 Mehr |
DIN 32564-1 | 2004-05 | Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik Mehr |
DIN 32567-2 | 2014-10 | Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 2: Prüfkörper für taktile Verfahren Mehr |
VDI/VDE 2617 Blatt 12.1 | 2011-03 | Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten - Kenngrößen und deren Prüfung - Annahme- und Bestätigungsprüfungen für Koordinatenmessgeräte zum taktilen Messen von Mikrogeometrien Mehr |
VDI/VDE 2629 Blatt 1 | 2008-08 | Genauigkeit von Konturenmessgeräten - Kenngrößen und deren Prüfung - Annahmeprüfung und Bestätigungsprüfung für Konturenmessgeräte nach dem taktilen Tastschnittverfahren Mehr |
DIN EN ISO 25178-601 | 2011-01 | Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 601: Merkmale von berührend messenden Geräten (mit Taster) (ISO 25178-601:2010); Deutsche Fassung EN ISO 25178-601:2010 Mehr |
DIN EN ISO 3274 | 1998-04 | Geometrische Produktspezifikationen (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Tastschnittverfahren - Nenneigenschaften von Tastschnittgeräten (ISO 3274:1996); Deutsche Fassung EN ISO 3274:1997 Mehr |
VDI/VDE 2655 Blatt 1.2 | 2010-10 | Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung Mehr |