DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)
DIN 32567-3
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 027-03-03 AA "Fertigungsmittel für Mikrosysteme" im Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO) im DIN erarbeitet. Ziel der vorliegenden Norm ist die Empfehlung eines Verfahrens zur Bestimmung und Korrektur der systematischen Abweichungen taktiler topografischer Schichtdickenmessungen für den Fall, dass Schicht und Substrat unterschiedliche mechanische Eigenschaften aufweisen. Die Norm beschreibt Verfahren zur Bestimmung und Korrektur dieser systematischen Abweichungen für Tastschnittgeräte. Die Norm lässt sich auch auf scannend messende Koordinatenmessgeräte mit taktilem Sensor und Rasterkraftmikroskope im "contact mode" anwenden. Die Norm zielt in erster Linie auf die Materialpaarung weiche, nachgiebige Schicht auf hartem, steifem Substrat ab. Wichtigste Voraussetzung für die Anwendung der Norm ist die Möglichkeit der topografischen Schichtdickenmessung, das heißt, die Schicht muss als Profilstufe messbar sein. Anwenden lässt sich die Norm auf taktile Schichtdickenmessungen beliebiger Werkstücke.
