DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)
DIN 32567-2
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 2: Prüfkörper für taktile Verfahren
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 2: Specimen for tactile procedures
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 027-03-03 AA "Fertigungsmittel für Mikrosysteme" im Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO) im DIN erarbeitet. Ziel der vorliegenden Norm ist die Empfehlung von Prüfkörpern für die Bestimmung der systematischen Abweichungen topografischer Schichtdickenmessungen für den Fall, dass Schicht und Substrat unterschiedliche physikalische Eigenschaften aufweisen. Bei topografischen Schichtdickenmessungen stellt sich die Schicht als Höhenstufe zum darunter liegenden Substrat dar. Dieser Teil der Norm beschreibt Anforderungen an einen Prüfkörper, mit dem die systematischen Abweichungen von Tastschnittgeräten bestimmt werden können. Es wird ein beispielhafter Prüfkörper mit weichen Schichten auf harten Substraten beschrieben.
