2. Mitwirken
3. Normenausschüsse
4. NAFuO

DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)

Kurzreferat

Dieses Dokument gibt für die taktile topografische Messung der Schichtdicke von Schichtsystemen, bei denen Schicht und Substrat unterschiedliche mechanische Eigenschaften aufweisen, Verfahren an, mit denen die systematischen Abweichungen der gemessenen Schichtdicke ermittelt werden können.

Beginn

2024-05-15

Geplante Dokumentnummer

DIN 32567-3

Projektnummer

02703434

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 027-03-03 AA - Fertigungsmittel für Mikrosysteme  

Vorgänger-Dokument(e)

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte
2014-10