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NA 058

DIN-Normenausschuss Lichttechnik (FNL)

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Norm [AKTUELL]

DIN 50455-2
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Charakterisierung von Fotolacken - Teil 2: Bestimmung der Lichtempfindlichkeit von Positiv-Fotolacken

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology - Methods for the characterisation photoresists - Part 2: Determination of photosensitivity of positive photoresists

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Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie  

Ausgabe 1999-11
Originalsprache Deutsch
Preis ab 34,60 €
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