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NA 022

DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE

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Norm [AKTUELL]

IEC 62047-3
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing

Ausgabe 2006-08
Originalsprache Englisch , Französisch
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