NA 022
DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
Norm
[ZURÜCKGEZOGEN]
DIN EN 62047-1
DIN EN 62047-1
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe und Definitionen (IEC 62047-1:2005); Deutsche Fassung EN 62047-1:2006
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2005); German version EN 62047-1:2006
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
DKE/K 631 - Halbleiterbauelemente