NA 022
DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
Technische Regel
[AKTUELL]
IEC/TR 63258
IEC/TR 63258
Nanotechnoogien - Ein Leitfaden zur Bestimmung der Dicke nanoskaliger Filme mit Hilfe von Ellipsometrie
Titel (englisch)
Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films