NA 022
DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
Norm
[AKTUELL]
IEC 60050-523
IEC 60050-523
Internationales Elektrotechnisches Wörterbuch - Teil 523: Bauelemente der Mikrosystemtechnik
Titel (englisch)
International Electrotechnical Vocabulary (IEV) - Part 523: Micro-electromechanical devices