NA 022
DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
Norm
[AKTUELL]
IEC 62047-1
IEC 62047-1
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions