NA 022
DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
Norm
[AKTUELL]
IEC 62047-5
IEC 62047-5
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 5: Hochfrequenz-MEMS-Schalter
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches