DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
DIN EN 62415
Halbleiterbauelemente - Konstantstrom-Prüfverfahren zur Elektromigration (IEC 62415:2010); Deutsche Fassung EN 62415:2010
Semiconductor devices - Constant current electromigration test (IEC 62415:2010); German version EN 62415:2010
Einführungsbeitrag
In diesem Dokument ist ein Prüfverfahren zur Elektromigration bei metallischen Leitern, Durchkontaktierungen (Vias) und Kontaktelementen mithilfe der gebräuchlichen Konstantstrombeanspruchung für Halbleiterbauelemente festgelegt. Die zu diesem Verfahren beschriebenen Grundlagen für die Beanspruchung auf Elektromigration basieren auf der Annahme, dass die gesamte Verteilungsfunktion der Zeitspanne bis zum Ausfall beim Beschleunigen nicht verändert wird. Eine Beschleunigung kann mithilfe einer Beschleunigungsenergie und einem Strom-Beschleunigungsfaktor beschrieben werden. Zuständig ist das K 631 "Halbleiterbauelemente" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.
