DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
IEC 60747-14-3
Halbleiterbauelemente - Teil 14-3: Halbleitersensoren - Drucksensoren
Semiconductor devices - Part 14-3: Semiconductor sensors - Pressure sensors
Einführungsbeitrag
Die zweite Ausgabe, 2009, der in Englisch und Französisch vorliegenden Norm IEC 60747-14-3 ersetzt die erste Ausgabe aus dem Jahre 2001. Sie ist Blatt 3 der Normenreihe IEC 60747-14 über "Halbleitersensoren" innerhalb der insgesamt 16 Normen umfassenden Reihe über "Halbleiterbauelemente". Die WG 1 des IEC/SC 47E erarbeitete die Norm, die nach Erscheinen des Komitee-Entwurfs zur Abstimmung (CDV) direkt als Internationale Norm veröffentlicht wurde. Die Norm spezifiziert Anforderungen an Halbleiter-Drucksensoren zur Messung von absoluten, relativen oder Differenz-Drücken basierend auf den Methoden der
- Piezoelektrizität beziehungsweise des Piezowiderstandes
- Kapazitätsänderung dünner Membranen
- Schwingungsänderung dünner Membranen.
Die wesentliche Neuerung gegenüber der ersten Ausgabe ist die Aufnahme eines neuen Abschnitts 5.9 zur Bestimmung der maximalen Abweichung von der Linearität zwischen Ausgangssignal und Druck. Die Norm sollte zusammen mit der einleitenden Norm IEC 60747-1:2006 gelesen werden.
Eine deutsche Übersetzung als DIN IEC 60747-14-3 ist nicht vorgesehen. Für die Norm ist national das DKE/UK 631.1 "Einzel-Halbleiterbauelemente" zuständig.
