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NA 022

DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE

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Norm [AKTUELL]

IEC 62047-6
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials

Ausgabe 2009-04
Originalsprache Englisch , Französisch
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