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NA 022

DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE

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Norm [AKTUELL]

IEC 62047-4
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specifications for MEMS

Ausgabe 2008-08
Originalsprache Englisch , Französisch
Preis Auf Anfrage
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