NA 022
DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
Projekt
IEC 62047-14 Ed.1: Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials
Beginn
2009-10-30
Geplante Dokumentnummer
IEC 47F/70/CDV
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
DKE/K 631 - Halbleiterbauelemente