VOB Vergabe- und Vertragsordnung für Bauleistungen - Teil C: Allgemeine Technische Vertragsbedingungen für Bauleistungen (ATV) - Raumlufttechnische Anlagen
Ausgabe 2019-09

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 4: Design, construction and start-up (ISO 14644-4:2022)
Ausgabe 2023-11-15

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 4: Planung, Ausführung und Erst-Inbetriebnahme
Ausgabe 2022-12-07

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Charakterisierung von Fotolacken - Teil 2: Bestimmung der Lichtempfindlichkeit von Positiv-Fotolacken
Ausgabe 1999-11

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 8: Bestimmung von 33 Elementen in hochreiner Schwefelsäure mittels ICP-MS
Ausgabe 2022-08

Schwebstofffilter (EPA, HEPA und ULPA) - Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung
Ausgabe 2019-09-01

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments) (ISO 14644-7:2004)
Ausgabe 2005-01-01

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 5: Betrieb (ISO 14644-5:2004)
Ausgabe 2004-11-01

Ortsbewegliche Gasflaschen - Ventilanschlüsse für die Anwendung in der Mikroelektronik - Teil 2: Spezifikation und Typprüfung der Verbindungen Ventil/Flasche (ISO 10692-2:2001)
Ausgabe 2001-10

Schwebstofffilter (EPA, HEPA und ULPA) - Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung
Ausgabe 2019-11