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Norm [AKTUELL]

DIN 32563

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Klassifizierungssystem für Mikrobauteile
Ausgabe 2002-03

Norm [AKTUELL]

DIN 32564-1

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik
Ausgabe 2004-05

Norm [AKTUELL]

DIN 32564-2

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 2: Basistechnologien und Herstellung
Ausgabe 2004-05

Norm [AKTUELL]

DIN 32564-3

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 3: Handhabung, Lagerung und Transport
Ausgabe 2004-05

Norm [AKTUELL]

DIN 32566

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Spezifikation eines Maskentragrings für die Röntgentiefenlithographie
Ausgabe 2007-12

Norm [AKTUELL]

DIN 32567-1

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 1: Qualitative Abschätzung der material- und verfahrensspezifischen Einflüsse
Ausgabe 2015-06

Norm [AKTUELL]

DIN 32567-2

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 2: Prüfkörper für taktile Verfahren
Ausgabe 2014-10

Norm-Entwurf [NEU]

DIN 32567-3

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte
Ausgabe 2024-11

Norm [AKTUELL]

DIN 32567-3

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte
Ausgabe 2014-10

Norm [AKTUELL]

DIN 32567-4

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 4: Prüfkörper für optische Verfahren
Ausgabe 2015-06

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