Norm
[VERÖFFENTLICHT]
DIN 50450-2
DIN 50450-2
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Meßzelle
Englischer Titel:
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of oxygen impurity in N<sub>2</sub>, Ar, He, Ne and H<sub>2</sub> by using a galvanic cell
Beschreibung
Die Norm soll das Prüfverfahren zur Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in den Träger- und Dotiergasen_N<(Index)2>,_Ar, He,_Ne und H<(Index)2> festlegen.
