Norm
[VERÖFFENTLICHT]
DIN 50450-1
DIN 50450-1
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Wasserverunreinigung in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mittels einer Diphosphorpentoxidzelle
Englischer Titel:
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell
Beschreibung
Die Norm beschreibt ein Prüfverfahren zur Bestimmung der Wasserverunreinigung in Träger- und Dotiergasen (H<(Index)2>,_O<(Index)2>, N<(Index)2>, Ar,_He), die in der Halbleitertechnologie verwendet werden.
